Gáz leírása
Tetrafluor-karbon, más néven tetrafluor-metán. Színtelen, szagtalan és szagtalan gáz. Vízben oldhatatlan, normál nyomáson 25 ℃-on 0,0015, kloroformban és benzolban oldódik. Ez a termék nem mérgező és nem gyúlékony. Magas koncentrációban érzéstelenítő hatású. Nagy tisztaságú gáza és nagy tisztaságú oxigénnel alkotott keveréke jelenleg a legszélesebb körben használt plazmamaratási gáz a mikroelektronikai iparban. A Chemicalbook alacsony hőmérsékletű hűtő- és szigetelőközegként is használható. Jó kémiai és termikus stabilitás, sok reagenssel szemben inert, 1000 ℃-on nem hidrolizálódik. Szobahőmérsékleten nem lép reakcióba rézzel, nikkellel és volfrámmal. A CF kötés erős kémiai stabilitása miatt a CF4 által képviselt perfluor-szénhidrogének lényegében nem mérgezőnek tekinthetők.
Főbb felhasználások
A szén-tetrafluorid jelenleg a legszélesebb körben használt plazmamaratási gáz a mikroelektronikai iparban. Széles körben használják vékony filmanyagok, például szilícium, szilícium-dioxid, szilícium-nitrid, foszfor-szilikát üveg és volfrám maratására. Széles körben használják elektronikus eszközök felülettisztításában, napelemek gyártásában, lézertechnológiában, alacsony hőmérsékletű hűtésben, gázszigetelésben, szivárgásérzékelő szerekben, űrrakéták helyzetszabályozásában, tisztítószerekben, kenőanyagokban és fékfolyadékokban a nyomtatott áramkörök gyártásában. Erős kémiai stabilitásának köszönhetően a CF4 olyan iparágakban is használható, mint a fémkohászat és a műanyaggyártás.
Tárolás és óvintézkedések
Tárolja hűvös és szellőztetett, nem éghető gázzal ellátott, dedikált raktárban. Tartsa távol a szikrákat és a hőforrásokat. A tárolási hőmérséklet nem haladhatja meg a 30 ℃-ot. Éghető anyagoktól és oxidálószerektől elkülönítve kell tárolni, és kerülni kell a vegyes tárolást. A tárolóhelyet fel kell szerelni vészhelyzeti berendezéssel a szivárgás esetére.
