hatás
Az elektronikai gázok családjában a szilánt, foszfánt, boránt és arzánt széles körben használják, és rendkívül fontos alapanyagok az IC-gyártáshoz. A foszfoán fontos N-típusú adalékforrás a félvezető eszközök gyártásában, és olyan eljárásokban is alkalmazzák, mint a poliszilícium kémiai gőzkicsapás, epitaxiális GaP anyagok, ionimplantáció, MOCVD-eljárás és passzív filmek készítése foszforoszilícium üvegen (PSG).
PH3, gyúlékony, robbanásveszélyes, erősen mérgező, PEL/TLV 0,3ppm, STEL 1ppm, LC50 20ppm, IDLH 200ppm toxicitási szinttel, erősen mérgező veszélyes anyag.
Vészhelyzeti reagálás és ártalmatlanítás
1、 Szivárgási vészhelyzet
Gyorsan evakuálja a személyzetet a szennyezett területről a széllel szemben, és azonnal izolálja őket 450 méterre, szigorú be- és kilépési korlátozásokkal. Vágja le a tűzforrást. Javasoljuk, hogy a sürgősségi személyzet zárt rendszerű túlnyomásos légzőkészüléket és védőruházatot viseljen. Amennyire csak lehetséges, vágja le a szivárgás forrását. Ésszerű szellőzés és gyorsított diffúzió. Hígítsa fel és oldja fel permetező vízzel. Építsen töltéseket vagy ásson gödröket a keletkező nagy mennyiségű szennyvíz befogadására. Ha lehetséges, használjon elszívó ventilátort a kiszivárgott gáz nyílt területre juttatására, vagy szereljen be megfelelő fúvókát az elégetéshez. A szivárgó tartályokat használat előtt megfelelően kell kezelni, megjavítani és ellenőrizni.
2. Védelmi intézkedések
Légutak védelme: Normál munkakörülmények között viseljen szűrt gázálarcot (teljes arcmaszk). Nagy koncentrációjú környezetben légzőkészüléket vagy oxigénes légzőkészüléket kell viselni. Vészhelyzeti mentés vagy evakuálás során ajánlott légzőkészülék viselése.
Szemvédelem: Viseljen vegyvédelmi védőszemüveget.
Testvédelem: Viseljen maszk stílusú öntapadós gázköpenyt.
Kézvédelem: Viseljen gumikesztyűt.
Egyéb: A munkahelyen dohányozni, enni és inni szigorúan tilos. Munka után zuhanyozz le és öltözz át. Tartsa be a jó higiéniai szokásokat. A tartályokba, zárt terekbe vagy más nagy koncentrációjú munkaterületekbe való belépést valakinek felügyelnie kell.
3. Elsősegélynyújtás
Belégzés: Gyorsan vigye el a helyszínről friss levegős helyre. Tartsa fenn a légutak átjárhatóságát. Légzési nehézségek esetén oxigént kell adni. Ha a légzés leáll, azonnal végezzen mesterséges lélegeztetést. Forduljon orvoshoz.
Tűzoltási módszer: A tűzoltóknak szűrő típusú gázálarcot (teljes arcmaszkot) vagy szigetelő típusú légzőkészüléket kell viselniük, teljes testet tűz- és gázvédőruházatot kell viselniük, és a tüzet széllel szemben kell eloltaniuk. Vágja le a levegőforrást. Ha a gázforrást nem lehet azonnal elzárni, az égő gázt nem szabad eloltani. Permetezzen vizet a tartály hűtésére, és ha lehetséges, vigye a tartályt a tűzről nyílt területre. Oltóanyag: porlasztott víz, hab, száraz por, szén-dioxid.
